中北大学a.电子测试技术重点实验室;b.仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学a.电子测试技术重点实验室;b.仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学a.电子测试技术重点实验室;b.仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学a.电子测试技术重点实验室;b.仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学a.电子测试技术重点实验室;b.仪器科学与动态测试教育部重点实验室
TQ 153
863计划项目(2013AA041109):“具有环境控制功能的典型微纳传感器多参数批量测试设备研发与应用”。通讯作者:张斌珍,Email: zhangbinzhen@nuc.edu.cn
南雪莉,张斌珍,张少华,等. 基于UV-LIGA工艺的酸性电铸铜溶液最优化配比[J]. 科学技术与工程, 2014, 14(29): .
Nan Xueli, Zhang Binzhen, Zhang Shaohua, et al. The optimal ratio of Acid copper electroforming solution based on UV-LIGA process[J]. Science Technology and Engineering,2014,14(29).