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赵 龙,刘 铮,王 强,等. 基于氧化铝薄膜的压电水听器的研制[J]. 科学技术与工程, 2020, 20(1): 128-134.
ZHAO Long,LIU Zheng,WANG Qiang,et al.Development of piezoelectric hydrophone based on AlN film[J].Science Technology and Engineering,2020,20(1):128-134.
基于氧化铝薄膜的压电水听器的研制
Development of piezoelectric hydrophone based on AlN film
投稿时间:2019-04-17  修订日期:2019-09-19
DOI:
中文关键词:  A1N  水听器  单电极  振动薄膜  ICP刻蚀  阵列结构
英文关键词:A1N  Hydrophone  Single electrode  Vibration membrane  ICP etching  Array structure
基金项目:国家杰出青年科学基金(批准号:61525107)
           
作者单位
赵 龙 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
刘 铮 北京卫星环境工程研究所
王 强 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
薛晨阳 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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中文摘要:
      提出了基于AlN压电薄膜结构的单电极水听器,将A1N的压电特性与MEMS微加工技术相结合。采用COMSOL对器件在20~100Hz低频范围内谐振特性进行分析和仿真,得出压电薄膜优化厚度0.8~1.0μm,振动薄膜直径100μm。给出了器件制备工艺流程,采用ICP精准刻蚀A1N薄膜提高成品率,并对实际样品进行高静水压等环境适应性测试。单个水听器阵列结构是40×40,实际尺寸为7×7mm,可以用来制备高性能的水听器集成系统。
英文摘要:
      A single electrode hydrophone based on A1N piezoelectric film is proposed. The piezoelectric characteristics of A1N are combined with MEMS micromachining technology. COMSOL was used to analyze and simulate the resonance characteristics of the device in the low frequency range of 20~100Hz. The optimized thickness of the piezoelectric film was 0.8~1.0 μm, and the diameter of the vibration membrane was 100 μm. The process flow of device preparation is given in this paper. ICP precise etching of A1N membrane can improve the yield, The actual samples were tested for their environmental adaptability under high hydrostatic pressure. The structure of a single hydrophone array is 40 by 40, The actual size is 7 x 7mm, which can be used to prepare a high-performance hydrophone integrated system.
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